Станок двухсторонней полировки СДП-100 

 

 

Станки двухсторонней шлифовки и полировки СДШ-100 и СДП-100

 

Станки предназначены для шлифовки и полировки полупроводниковых и других твердых хрупких материалов соответственно модели СДШ-100 и СДП-100.

Станки рассчитаны на эксплуатацию в климатических условиях У, категории 4.1 согласно ГОСТ 15150-97. Питание станка осуществляется от сети переменного тока напряжением 380 В, частоты 50 Гц. Нормы качества электрической энергии – по ГОСТ 13109-67.

Станки подключаются к пневмосети с давлением воздуха 58,8·104 Па (6кГс/см2). Загрязненность сжатого воздуха не должна быть грубее 10-го класса по ГОСТ 17433-80, рабочая температура воздуха не должна превышать 300 С.

    Для размещения станка на месте его эксплуатации необходимы: площадь 7 м²        без фундамента, магистраль подвода и отвода воды Ду1 = 16 мм. Ду2  = 50             мм,         вытяжная вентиляция производительностью 0,5÷1 Нм3 /мин.

 

Технические характеристики

 

Наименование

параметра, размера

Величина

параметра, размера

Допускаемые

отклонения
  1. Диаметры обрабатываемых пластин, мм

40, 60, 75, 100.

 

2. Количество одновременно обрабатываемых пластин, шт.

Ø40 мм

Ø60 мм

Ø75 мм

Ø100 мм

 

 

 

56

14

14

14

 

3. Частота вращения внутреннего зубчатого колеса (регулирование бесступенчатое)

10-66

±10%

4. Величина подъема верхнего шлифовального или полировального диска, мм

300

 

5. Величина удельного рабочего давления при обработке 7 штук пластин Ø100, Па (кгс/см2)

(0,04…0,18)·105

(0,04-0,18)

±5%

6. Максимальная электрическая мощность, потребляемая станком, кВт

7,5

 

7. Допускаемое отклонение от плоскостности рабочей поверхности шлифовальника (полировальника) на диаметре 100 мм, мкм

0,003